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上海联田材料科技有限公司
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硅化钨
基本信息
- 化学式:WSi₂
- 分子量:240.01
- CAS 号:12039-88-2
- EINECS 号:234-909-0
理化性质
- 外观:蓝灰色四方晶体
- 密度:9.88g/cm³
- 熔点:2165°C 或 2065°C
- 溶解性:不溶于水和王水,能溶于硝酸和氢氟酸混合液
- 稳定性:具有较好的化学稳定性,但在高温和特定化学环境下可能发生反应,如在 1000°C 时形成,在更高温度时则分解或氧化
结构特点
二硅化钨具有类似于石墨的层状结构,这种结构使其具有良好的润滑性能
制备方法
- 粉末冶金法:将钨粉和硅粉按一定摩尔比配料,混合均匀后在惰性气体保护下于高温加热反应而得, 例如将钨与化学计量的硅粉在氩气氛中于 1200℃烧结可得 WSi₂.
- 化学气相沉积法:使用甲硅烷或二氯硅烷与六氟化钨作为源气,通过化学气相沉积制备硅化钨层,沉积的薄膜是非化学计量的,需要退火才能转化为更具导电性
用途
- 电子领域:在微电子学中用作接触材料,其电阻率为 60-80μΩcm,通常用作多晶硅线上的分流器,以增加它们的导电性和信号速度;还可作为硅和其他金属之间的阻挡层
- 润滑领域:由于其良好的润滑性能和高温稳定性,常用于高温润滑油、金属加工液和高温环境下的润滑膏.
- 催化领域:可以用作催化剂载体,用于制备高效的催化剂,如光催化剂和电催化剂
- 涂层领域:可用于制抗氧化覆盖层和电阻丝敷剂,其高发射率使这种材料对高温辐射冷却具有吸引力,对隔热板具有重要意义